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CVD Ti(B,C,N) Schichten

Mittels chemischer Gasphasenabscheidung Ti(B,C,N) beschichtete Werkzeuge zum Fräsen von Titanlegierungen

TiB2 Schichten bilden mit ihren Druckeigenspannungen eine Ausnahme unter den mittels chemischer Gasphasenabscheidung synthetisierten Schichten, die für gewöhnlich Zugeigenspannungen aufweisen. Nicht nur deshalb werfen diese Schichten eine Vielzahl an wissenschaftlich hochinteressanten Fragestellungen auf. Der Einfluss der Beschichtungsparameter auf die Schichtmikrostruktur ist hier noch nicht gut verstanden, was die Entwicklung von Multilagenstrukturen oder das Einbringen von weiteren Elementen zu einer Herausforderung macht.

CVD Ti 1-xAlxN Schichten

Mittels chemischer Gasphasenabscheidung Ti1-xAlxN beschichtete Werkzeuge: Auslotung der Anwendungsgebiete

Während die Abscheidung von Ti1-xAlxN mittels physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) seit mehreren Jahrzehnten State-of-the-art ist, steckt die Abscheidung von Ti1-xAlxN mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) noch in den Kinderschuhen. Mittels CVD werden komplett unterschiedliche Mikrostrukturen erzeugt als mit PVD, was auch andere Anwendungsgebiete für diese Schichten denkbar macht. Die gezielte Einstellung der Mikrostruktur und die Einbringung von zusätzlichen Elementen bietet hier noch so manche Herausforderung.

CVD α-Al2O3 Schichten

Mittels chemischer Gasphasenabscheidung α-Al2O3 beschichtete Werkzeuge zum Drehen von Stahl und Gusseisen

Zwischen α-Al2O3 Schicht und Substrat befindet sich typischerweise ein Unterbau aus einer TiN Barriereschicht, einer TiCN Basisschicht und je einer hauchdünnen Anbindungs- Oxidations- und Nukleationslage. Jede dieser Lagen hat Einfluss auf das Wachstum der Al2O3 Schicht. Deshalb sollen die grundlegenden Zusammenhänge zwischen Beschichtungsparameter und Mikrostruktur untersucht werden. Ein weiterer Fokus wird auf der Einbringung von zusätzlichen Legierungselementen liegen. Einerseits soll hier die Möglichkeit der Einbringung evaluiert werden, anderseits natürlich auch der Einfluss der Legierungselemente auf die Mikrostruktur und in weiterer Folge auf die Eigenschaften und das Einsatzverhalten der beschichteten Werkzeuge.

PVD Nitridschichten

Mittels kathodischer Lichtbogenverdampfung Nitrid beschichtete Werkzeuge zum Fräsen und Drehen von Stahl

Zusätzlich zur Weiterentwicklung von Schichtzusammensetzung und -architektur von Ti1-xAlxN-basierenden Schichten, sollen neue alternative Schichtmaterialien wie beispielsweise Cr1-xTaxN erforscht werden.

PVD Ti(Al)SiN Schichten

Mittels kathodischer Lichtbogenverdampfung Ti(Al)SiN beschichtete Werkzeuge zum Drehen von rostfreiem Stahl und Nickelbasislegierungen

Ti(Al)SiN Schichten weisen eine sehr hohe Härte von über 40 GPa auf, die auf ihre Nanokomposit-Struktur bestehend aus einer nanokristallinen Phase eingebettet in einen amorphen Saum zurückzuführen ist. Zusätzlich macht dieses Schichtsystem eine hohe thermische und Oxidationsstabilität besonders interessant. Eine weitere Besonderheit sind die typischerweise sehr hohen Eigenspannungen, deren Ursache Gegenstand aktueller Untersuchungen ist.

PVD ZrN-basierende Schichten

Mittels kathodischer Lichtbogenverdampfung auf ZrN-basierend beschichtete Werkzeuge: Auslotung der Anwendungsgebiete

ZrN-basierende Schichten stellen eine Alternative zu den weitläufig verwendeten TiN-basierenden Schichten dar, aber die beiden Schichtsysteme können auch zu Multilagenschichten kombiniert werden. Da beide in der kubisch-flächenzentrierten Struktur kristallisieren und der Unterschied der Gitterparameter bei 7 % liegt, können typischerweise kohärente Grenzflächen, allerdings mit hohen Kohärenzspannungen zwischen den einzelnen TiN/ZrN Lagen erreicht werden, was die Schichteigenschaften günstig beeinflusst. Die Untersuchung dieser Grenzflächen erfordert den komplementären Einsatz unterschiedlichster hochauflösender Charakterisierungsmethoden.